Основная информация
Обзор продукта
Вакуумный зондовый стол CGOPX для высоких и низких температур специально разработан для образцов диаметром 4 дюйма; он оснащён камерой высокого вакуума и экранирующей конструкцией, обеспечивающей сверхширокий температурный диапазон от 77 до 675 К, а также совместим с различными типами измерений — I‑V, C‑V и RF. Устройство имеет внешний дизайн зондового рычага с большим ходом и удобной системой позиционирования, обладает преимуществами экономичности и практичности, а также возможностью бесшовного расширения функционала, что делает его идеальным выбором для электрических испытаний в условиях высоких и низких температур в вакууме.
Функциональные особенности
1. Совместимая конструкция образцетодержателя диаметром 4 дюйма
В стандартной комплектации — образцетодержатель диаметром 4 дюйма, совместимый с наиболее распространёнными размерами пластин и полупроводниковых приборов, что обеспечивает выполнение типовых лабораторных испытаний в условиях высоких и низких температур в вакууме.
2. Камера с высоким вакуумом и герметичным уплотнением
Применение конструкции с высоковакуумной камерой позволяет эффективно откачивать из камеры водяной пар и кислород, обеспечивая чистую среду для проведения испытаний при сверхнизких и высоких температурах.
3. Равномерная температурная структура экрана для защиты от излучения
Оснащённая профессиональной конструкцией экрана, защищающего от излучения, прибор существенно повышает равномерность температуры образца, обеспечивая стабильность и надёжность результатов измерений в широком диапазоне температур.
4. Сверхширокий температурный диапазон 77K–675K
Тестирование охватывает весь диапазон температур — от крайне низких до сверхвысоких, что позволяет удовлетворить требования двух типов испытаний: сверхнизкотемпературного охлаждения и сверхвысокотемпературного нагрева.
Ключевые преимущества тестирования
1. Тест на сверхнизкие температуры без образования инея
В условиях низкотемпературной атмосферы водяной пар из воздуха легко конденсируется на поверхности подложки, что приводит к чрезмерным утечкам тока и отказу контакта зондов. Оборудование с помощью системы высокого вакуума заранее откачивает водяной пар из камеры и поддерживает непрерывную работу насосов, полностью исключая образование инея, утечки тока и сбои при испытаниях.
2. Тест на отсутствие окисления при высокой температуре
При работе в условиях высоких температур — от 300 до свыше 500 °C — на пластине из‑за окисления могут возникать серьёзные дефекты, приводящие к электрическим погрешностям и физическим деформациям. Оборудование с помощью вакуумной системы заранее удаляет кислород из камеры и поддерживает непрерывную работу насоса, полностью исключая явление высокотемпературного окисления и обеспечивая точность при проведении испытаний в условиях высоких температур.
3. Решение для локализации зондов, чувствительных к температурным изменениям
Перепады высоких и низких температур вызывают термическое расширение и сжатие, что легко приводит к смещению зонда и электродов; разъём для зонда выполнен во внешнем исполнении, что позволяет быстро выполнить его повторное позиционирование; дополнительно можно установить управляющий рычаг для автоматического регулирования положения разъёма, обеспечивая точную настройку положения зонда после изменения температуры.
Компоненты модулей вакуумного зондирующего стола для высоких и низких температур CGPX
Температурный график CGPX
График изменения температуры в режиме термоконтроля
