Основная информация
Обзор продукта
Карусель‑подложка с термостатированным нагревом для зондов является ключевым компонентом в полупроводниковых испытаниях, обеспечивающим точный контроль температуры образца; она позволяет проводить стабильные и надёжные электрические измерения на пластине или чипе в широком диапазоне температур и широко совместима с различными системами зондирования.
Функциональные особенности
1. Сверхширокий диапазон температур
Температурный диапазон стандартных термокареток Cindbest с золотым или никелевым покрытием: от −10 °C до 600 °C; температурный диапазон индивидуально изготовленных полуавтоматических кареток: от −60 °C до 300 °C, что обеспечивает выполнение испытаний в самых широких температурных условиях.
2. Высокоточный контроль температуры
Разрешение температуры поддерживает несколько диапазонов — 0,1 °C, 0,01 °C и 0,001 °C; стабильность температуры достигает ±1 °C или ±0,1 °C, что обеспечивает точный и надёжный контроль температуры образца.
3. Быстрый режим нагрева и охлаждения
Применяется высокоэффективная интегрированная технология охлаждения и нагрева; скорость изменения температуры значительно превосходит традиционные системы, что существенно повышает производительность испытаний и ускоряет ход экспериментов.
4. Вакуумное всасывание для фиксации
Встроенные вакуумные каналы обеспечивают надёжное удержание пластин, гарантируя стабильность их положения в ходе испытаний; некоторые держатели оснащены независимыми вакуумными каналами, что позволяет гибко адаптироваться к образцам пластин различных размеров.
Конструктивное проектирование
1. Чрезвычайно высокая плоскостность поверхности
Поверхность патрона обладает высокой плоскостностью — в условиях комнатной температуры она достигает 10 мкм, что обеспечивает надёжное прилегание подложки к патрону и гарантирует равномерность температуры и точность измерений.
2. Сверхтонкая высокоэффективная теплопередающая структура
Патрон выполнен по ультратонкой конструктивной схеме, что облегчает его эффективную интеграцию с зондовой системой и одновременно существенно повышает эффективность теплопередачи, обеспечивая быстрое и равномерное управление температурой.
3. Разнообразие электрических интерфейсов
Поверхностное покрытие золотом или никелем эффективно снижает контактное сопротивление; оснащён функцией электрического флоатинга и специальным точкой заземления; некоторые модели поддерживают трёхосный вариант, что делает их пригодными для измерений с низким уровнем утечки, низким уровнем шума и высокой точностью.
Способы охлаждения и нагрева
1. Воздушное охлаждение
Применяется воздушное охлаждение, отсутствуют жидкие теплоносители и элементы Пельтье; обеспечивается высокая безопасность, небольшие габариты и экономия монтажного пространства; подходит для эксплуатации в стандартных температурных диапазонах.
2. Охлаждение жидким азотом
Поддерживается охлаждение жидким азотом; минимальная температура достигает −196 °C; в сочетании с автоматической системой регулирования температуры обеспечивает выполнение задач в условиях сверхнизких температур и высокой точности измерений.
Область применения
Карусели для проведения испытаний при высоких и низких температурах в основном применяются для анализа электрических характеристик полупроводниковых приборов и пластин в условиях изменяющейся температуры; они охватывают такие сложные научно‑исследовательские и промышленные задачи, как моделирование и тестирование силовых устройств, оценка надёжности полупроводниковых пластин, производственный контроль с переменной температурой, оптоэлектрические измерения при изменяющейся температуре, а также радиочастотные испытания при переменной температуре.